반도체 결정 인상로의 열장은 결정 인상 품질에 영향을 미치는 중요한 요소 중 하나입니다. 우리 회사는 섬유 구조에서 시작하여 중공 구조의 탄소 섬유를 준비하고 반복적인 데이터 테스트를 통해 특정 직경의 탄소 섬유를 선택합니다. 동시에 흑연화 촉매 물질도 로딩합니다. 동일한 온도에서 흑연화되면 흑연화 정도가 더 높아집니다. 또한, 우리는 보다 균일한 플랫 레이드 니들링 공정을 선택하고 펠트 밀도와 두께의 균일성과 일관성이 더 높습니다. 따라서 이러한 기술공법으로 만들어진 흑연펠트는 보온성, 보온성이 우수할 뿐만 아니라 내산화성도 우수합니다. 배치 일관성이 높습니다. 데이터 비교에 따르면 현재 단열 성능은 국제 최고 수준에 도달했습니다.
| 이름 | 단위 | 흑연 소프트 펠트 | 비고 | ||
| VLG-5/VLG-10 | VLGY-5/VLGY-10 | ||||
| 두께 | mm | 5/10 | 5/10 | 기타 사양 | |
| 밀도 | g/cm3 | 0.08-0.11 | 0.07-0.09 | ||
| 폭 | m | 1.3-1.6 | 1.3-1.6 | ||
| 파괴 강도 | Mpa | ≥0.3 | ≥0.2 | ||
| 탄소 함량 | % | ≥99.80 | ≥99.80 | ||
| 열전도율 | W/m·k | 1000℃ | ≤0.17 | ≤0.23 | |
| 1500℃ | ≤0.35 | ≤0.38 | |||
| 열처리 온도 | ℃ | ≥1800 | ≥1800 | ||
| 섬유소탈률 | % | ≤0.3 | ≤0.3 | ||
| 특정 | m²/g | 3-7 | 3-7 | ||
| 재 함량 | ppm | ≤300 | ≤300 | ||
| 제품 | 열전도율 (1000℃) (W/m·k) | 밀도 (g/cm3) | 공기 폭발성 (600℃，1시간) (%) |
| Naco VLG-10 소프트 펠트 | 0.17 | 0.1 | 6.21 |
| Naco VLGY-10 소프트 펠트 | 0.23 | 0.08 | 9.95 |
| 독일 SGL 소프트 펠트 | 0.25 | 0.1 | 10.12 |
| 프랑스 멜슨 소프트 펠트 | 0.25 | 0.08 | 6.32 |
| 미국 모건 소프트 펠트 | 0.23 | 0.1 | 10.22 |
클라이언트 측에서 측정한 실제 데이터
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